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無塵室等級，無塵室標準，無塵室等級標準是什么？ (2009/08/10 13:56)

         依據美國聯邦政府頒布的標準【Federal Atandard（FS）209E，1992】，可將無塵室分為六級。分別是1級、10級、100級、1000級、10000級、100000級，如果無塵室的等級只用塵粒數目來敘述，則可假設塵粒的尺寸不是0.5um，無塵室等級應以在一特定塵粒尺寸的級數來表示。例如：10級在0.2um（塵粒尺寸在0.2um或更大下，密度不大于75顆/立方英尺），1級在0.1um（塵粒尺寸在0.1um或更大下，密度不大于35顆/立方英尺）。而集成電路制造所需的無塵室之潔凈度必須優于1000級。

無塵室等級，無塵室標準，無塵室標準定義

一、無塵室定義

將空氣中之塵埃、壓力、溫度、濕度、氣流分布之情形及速度，控制于一定范圍內之空間。此處所指之塵埃為肉眼無法看見的灰塵及

粒子，且指一般空氣清凈機無法完全清除之灰塵。

無塵室一般分為電子、精密工業用IndustraialCleanRoom（ICR）；及需控制微生物濃度等制藥、食品產業用BiologicalCleanRoo

（BCR）。

二、聯邦規格無塵室等級

現今一般多奉行與美國所制定的聯邦規格（U.S.Federalstandard209b），BCR則多參考明定生物粒子限制值的NASA規格（美國航空

署5340.2規格）。

其Fed.std清潔度的表示法為：1ft³空氣中，含有多少個0.5μm（micro）以上的微粒子，及稱為[等級○○]。例如：空氣中含有10個0.5

以下時，表示為“等級10”。二自然界大氣中通常含有300000~30000000個微粒子。

三、在JIS標準下，無塵室清潔度，共分為8個等級

一般清潔度是指空氣的潔凈等級，分為等級1、2···8，8階段。在1立方公尺的空氣中，粒徑0.1微米的灰塵若是在10個以下時為

1；百個以下是100=102是等級2；千個以下時是1000=103等級3，一次類推。

21世界，最尖端產業的發展，加速了產業結構的變革，無塵室設立之必要性也相對地提高。商品日漸的小型化和精密化，塵埃和溫濕

的變化對商品的完成度亦造成極大的危害，導致品質低下。伴隨商品的高品質要求，環境無塵化的需求也日益提高。因此在無塵室中

用防塵材料及商品都顯得格外重要。

所謂的無塵室是一個人造的環境，里面含有的粒子遠低于一般的環境，隨著集成電路的級數的快速成長，也增加了對制造環境(無塵室)潔凈度要求，在工業上即使使粒子之尺寸想小于0.1微米.也可能阻礙產品的運作或降低其壽命。優于納米技術的興起，造成半導體關鍵尺寸持續縮小，集成電路積集度不斷地增加，塵粒更容易使芯片失效或可靠度惡化。例如當金屬塵粒落到金屬導線時，就可能會使金屬導線形成短路。又如果有酸性的離子化合物塵粒掉在金屬導線上，可能將其腐蝕，所以無塵室為集成電路制造不可或缺的要素。